2024慕尼黑上海光博会于3月20日在上海开幕，陕西光电子先导院科技有限公司携VCSEL单孔晶圆、VCSEL阵列晶圆、砷化镓（GaAs）IPD晶圆、氮化镓（GaN）HEMT晶圆等4项成果亮相，吸引了众多参观者驻足、交流。

  据光电子先导院技术人员介绍：“公司研发技术团队仅用了6个月的开发周期，就完成了VCSEL单孔晶圆、VCSEL阵列晶圆2款产品的全流程工艺开发，通过了1000H的高温高湿、高温带电、冷热冲击等可靠性测试，并发布了PDK（Process Design Kit，工艺设计套件）。这在某种程度上预示着公司已具备了相应的工艺代工能力。”此外，基于常开型GaN HEMT 技术，公司研发技术团队还完成了器件不同技术路线工艺流程的开发；针对GaAs无源器件模型，开发了无源器件成套工艺，完成薄膜电阻、平板电容、螺旋电感等器件的建模。公司已具备GaN HEMT 、GaAs无源器件共性基础工艺能力，正在逐步优化器件性能，可同步对接研发流片需求。

  据悉，来自海内外1200家光电行业的领军企业参加了本届光博会，共同探索光电行业的未来发展趋势，聚焦新技术、新趋势，集中展示培育新质生产力的新成果。

  “光子行业的发展，将推动信息技术和新型工业化质的飞跃，是新质生产力的典型代表。”陕西光电子先导院总经理杨军红认为，随着人工智能、航空航天、人机一体化智能系统、新能源、生命科学的蓬勃发展，光子产业的发展也逐渐进入迅速增加期。

  陕西光电子先导院成立于2015年，配备有超百人的完整工艺技术团队，有着先进的化合物芯片关键设备100余台（套）和千级、万级、十万级洁净厂房8000㎡（研发平台5000㎡，中试平台3000㎡），是集研发及中试服务为一体的光电芯片领域专业服务平台。

  作为陕西省光子产业链“链主”企业，陕西光电子先导院以“畅链”和“延链”进行带动，目前陕西全省光子产业企业已发展到300余家、产值300余亿元，形成了光子领域全国创新版图中的“陕西生产力”。

  杨军红表示，“光电子先导院一直把为光子公司可以提供研发、中试、测试、工程化服务作为核心价值，先进光子器件工程创新平台为更多项目提供‘化合物+硅光芯片’全流程服务，吸引更加多的光电子芯片创新主体融通汇集、聚链成群。”

  为进一步培育光子产业竞争新优势，陕西光电子先导院将持续追加投资，对现有平台做升级。一方面，拟对现有化合物光子器件中试平台做升级扩能，新增高可靠车规级激光器芯片工艺设备；另一方面拟新建先进硅光集成技术创新平台，新增硅光工艺设备，开发先进硅光集成芯片工艺技术，具备硅光工艺研发、中试能力。

  据介绍，扩能升级完成后，光电子先导院将实现“化合物+硅光芯片”全流程的研发、试验、中试能力，有效助力解决光子领域长期存在的科研和市场“两张皮”“大科技小产业”等问题，也将有效助力消除科学技术创新中的“孤岛现象”，使光子产业创新成果更快转化为现实生产力，推动实体经济发展。

  截至2023年末，光电子先导院先进光子器件工程创新平台已攻克30多项核心工艺开发，已经具备为光电子产业各类创新主体提供研发、中试、检测、工程化等全流程技术服务，将加速企业产品创新，有效推动光子产业持续创新发展。（经济日报记者 张毅）